金刚石刀具的磨损机理比较复杂，可分为宏观磨损和微观磨损，前者以机械磨损为主，后者以热化学磨损为主。常见的金刚石刀具磨损形式为前刀面磨损、后刀面磨损和刃口塌陷。在单晶金刚石刀刃磨削过程中，需要用刀刃磨损满足要求的刀具，但如果不需要磨损，可能会损坏刀刃磨损的前后刀面。刃口坍塌发生在刃口上的应力超过金刚石刀具的局部承载能力时，通常是由金刚石晶体沿晶体表面的微观解理损伤引起的。在超精密加工中，金刚石刀具的切削刃钝圆半径相对较小，属于脆性材料。同时，由于各向异性，易于解理，由于振动和砂轮砂粒对刀刃的冲击，往往伴随着刀片坍塌。

  由于刀具或金刚石形状的要求，有时需要将金刚石原石分割。金刚石具有平行解理，金刚石中的碳原子与碳原子以较强的共价键结合在一起。然而，在金刚石结构的某些特定方向上，如平行八面体面施加一定的力后，金刚石很容易破裂，主要是因为金刚石晶体中的键相对较少。